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  • 先进的3D盖板数字化无掩模成像引领者

    ML-300 直接在 3D 曲面玻璃盖板进行高精度曝光,为客户带来高分辨率,高效率及高良率的产品,稳定的冷却系统,确保设备内部保持 22℃的恒温状态,保障了设备的稳定。成功地将集成电路用的微细工艺“负性光刻胶”工艺制造技术,运用在 3D 曲面玻璃盖板生产上。
    此工艺制造技术,将提升 3D 曲面玻璃盖板生产一次性良率,可高达 95%以上, 图案更精细,色彩还原度更佳。有效改善原传统丝印良率低、返工率高、线宽粗等弊端。

    3D 应用优势


    无掩膜/光罩,非接触式光刻
    高产能,高良率,低成本
    柔性生产,快速切换产品

    ·不规则曲面玻璃基板上高质量图形转移(<30um)
    ·z轴实时对焦结合软件补偿算法,可应对每件产品不一致性
    ·可完成2.5D/3D/4面曲/U型/环绕等曲面玻璃图形化
    产能 良率 兼容性 打样成品
    1200 pcs/h ≥95% 高于 所有传统工艺 低于 所有传统工艺

    不同BM工艺VS不同产品 线条对比

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    光罩曝光机(使用油墨上色)

    GIS-DLP(使用光阻上色)

    GIS-DLP(使用光阻上色)

    3D曝光机核心技术

    数字化成像技术

    利用TI的图形发生器-数字微镜器件(DMD)芯片来产生数字图像, DMD由80万或200万个微镜组成,在DMD光斑范围内,能保证清晰和锐利的方形网点。这种最新的数字曝光系统已成为业界新标准。


    375纳米激光器

    工业级别375纳米耦合激光器,自主研发了激光成像系统,将375纳米耦合激光器激光利用率 从传统的30%提高至50%


    高精度光学引擎

    DLP(Digital light processing)光学系统采用UV激光光源,输出的激光通过特种准直镜头实现对DMD的高均匀照明,最后通过投影镜头实现图形的输出。投影镜头为采用紫外特种光学材料的双远心镜头,具有低畸变,高透过率的特点。


    高精度运动平台

    ±1μm运动控系统;运动误差实时补偿系统


    领先的智能3D玻璃盖板全线自动化方案

    该方案是用于生产3D盖板玻璃加工需求,适用于曲面盖板玻璃工艺;附带相应配合设备,包括全线配备自动上/下料机、平板/等离子清洗机、自动喷涂机、遂道式表干线、直写式激光曝光机、显影/清洗机、遂道式固烤线或立式烤箱等辅助设备;高分辨率,高生产率,高产量,更薄的厚度,更高的质量(外观)低成本;3D Glass LDI适用领域:可穿戴产品,汽车产品,手机产品,家用电器行业等

    等离子清洗 3D光阻喷涂 GIS曝光 显影 固化 成像
    玻璃表面清洁 喷涂控制单次膜厚 3μm±0.05 公差±0.05mm 低残留显影, 控制显影效果 立体烤箱, 温度均衡控制 清洗后包装覆膜 发往客户端
    规格参数 / 型号 GL600系列
    应用领域 大曲面车载玻璃
    外观尺寸mm(可订制 ) 2430x1900x2015
    曝光时间CT/pcs 30-50s
    最大曝光面积(可订制 ) 1000*300mm
    可接受光刻胶厚度 1-15um (常规6um)
    额定电压 单相 220V/50HZ 接地良好
    额定压缩空气压力 0.8 Mpa
    激光输出波长 375nm±10nm
    激光传输方式 光纤
    感光材料 光刻胶
    图像解析分辨率 12700dpi
    最大功率 4KW (Laser 6w ) / 4.5KW (Laser 9w )
    输出激光功率 6W (±3%)/ 9W (±3%)
    输入文件格式 Gerber274X
    曝光精度 50±5μ
    产品多层套位精度 40um
    油墨边缘锯齿 ≤15μm
    VA区长宽尺寸公差 ±60um
    位置偏差 ≤60um
    硬件重复精度 ±10um

    *如有规格变更恕不另行通知

    期待您来电洽谈!


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